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1.复定位精度±1um 2.超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构 3.透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现 4.中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用 5.在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度 6.材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能 7.实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
应用场景
新能源锂电池设备，手机3C设备，印刷机械，光伏设备，光伏设备，光纤设备，光学设备，光通讯，半导体设备。